盈德气体准分子激光气再获行业权威认可

盈德气体准分子激光气再获行业权威认可

近日，盈德气体子公司——上海基量标准气体有限公司（简称：上海基量）正式通过上海集成电路研发中心有限公司（以下简称：ICRD）氩氟类准分子激光气的机台测试。这是继2023年取得美国相干公司认证后，盈德气体准分子激光气再次获得专业认可，标志着盈德气体助力半导体行业国产化发展取得重要突破。

准分子激光是一种紫外激光，目前在工业、医疗和科研领域均有广泛用途，盈德气体的准分子激光气已在上述领域实现规模化应用。盈德气体在电子特气领域拥有深厚的技术基础和雄厚的研发实力，能够精准控制配比满足激光激发标准，此次凭借先进的工艺技术和高稳定性产品，成功通过ICRD测试，加速推进激光气的国产化替代。

盈德气体作为国产替代浪潮下的先行者，致力于在先进制程领域创新突破。激光混配气是芯片制造的核心气体，此次通过ICRD测试的盈德气体激光混配气产品能有效匹配中国半导体材料市场需求，为客户提供更多选择。未来，盈德气体会不断开拓高端电子特气产品以及激光混配气领域业务，助推关键技术实现国产化。

关于上海集成电路研发中心有限公司

上海集成电路研发中心有限公司（ICRD）成立于2002年，是产学研合作的国家级集成电路研发中心。ICRD由中国集成电路相关企业集团和高校联合投资组建而成，是一个独立的面向全行业集成电路企业、大学及研究单位开放的公共研发机构。致力于解决重大共性技术的研发及服务支撑问题，并为集成电路产业链的发展提供公共的装备和材料评价验证平台，为企业及高校提供培养集成电路专业技术人才和高技能人才的实训基地。